产品描述
6寸LT on Quartz 复合衬底 石英基LT薄膜 直径150mm 350μm
可定制尺寸
产品摘要
LT-Poly-Si on 石英玻璃复合衬底具有优异的光学性能、良好的温度稳定性以及兼容柔性基板的制造工艺,在显示、传感、光电子等领域都有广泛应用前景。随着柔性电子技术的不断发展,这类复合衬底材料将在未来柔性电子产品中发挥更重要的作用。多晶硅层厚度为50-200 nm。晶粒尺寸为0.1-1 μm。载流子迁移率为30-200 cm2/Vs。缺陷密度为10^10-10^11 cm-2。
产品展示
产品参数
产品特性
材料特性:多晶硅层厚度: 50-200 nm;晶粒尺寸: 0.1-1 μm;载流子迁移率: 30-200 cm2/Vs;缺陷密度: 10^10-10^11 cm-2
电学特性:;漏电流: < 10 pA/μm;阈值电压: 0.5-3 V;截止频率: 1-10 GHz
光学特性:;透光率: 85-95%;折射率: 1.45-1.55
热学特性:工作温度范围: -40 to 150 °C;热膨胀系数: 0.5-0.7 ppm/°C
机械特性:弯曲强度: 400-800 MPa;表面粗糙度: 0.3-1 nm RMS
制造工艺:低温低成本PECVD沉积工艺;可实现大尺寸柔性基板
应用领域:柔性显示;可穿戴电子;物联网传感器;集成光电子器件
产品应用
柔性显示技术:柔性AMOLED显示屏;柔性LCD显示屏;柔性电子纸
可穿戴电子设备:;智能手表和智能眼镜;智能服装和织物;可折叠/可卷曲显示屏
集成光电子器件:;光电探测器;光电开关;小型光学传感系统
柔性传感器:压力传感器;应变传感器;温湿度传感器
柔性信息处理电路:逻辑电路;信号处理电路;存储器件
其他应用:柔性太阳能电池;柔性RFID标签;柔性生物医疗设备